该厂为8寸大晶圆研发线配合的超蒸馏水软件系统,每日所产生含硅废污水150吨。废污水里面虽无高价属,但硅含量高易积垢,且阻值率需起到18MΩ·cm才能够循环。和原有办理工学院艺就没有办法充分考虑新颁发的《电子器材工业生产水感染物直接摆放规范标准》(GB39731-2020)特意直接摆放限制值。
电镀废水材料基本特征
主要废弃物物
:固体硅(200-300mg/L)、粒状硅(粒度0.1-1μm)
特出规定
:TOC<10μg/L,硼的含量<5μg/L
生活饮用水性质
:低导电率(<50μS/cm)但硅类化合物行态非常复杂
治疗方法流程图
改革创新用于"梯级膜分开+电去阴离子"团体施工工艺:
微滤预进行处理
:1μm工业陶瓷膜短信拦截大颗粒物硅,通量能维持80LMH
阳离子互相交换树脂胶
:D201大孔环氧树脂会选择吸附性硅酸碳原子
二次元RO体系
:一号段的回收利用率60%,第二名段按照高脱硼膜部件
EDI电去正离子
:电压电流密度计算2A/m²,继续我们要除多余阴离子
紫外光除菌
:254nm分光光度计线的用药量40mJ/cm²
新技术优点
开发技术常用阻硅剂(有机酸胺类pp物),延迟膜空气污染时间段3倍
EDI信息模块改革创新流道来设计,硅祛除率完善至99.8%
线下硅分析一下仪(校正范围内0.1-500μg/L)构建识贫管控
作业取得的成绩
经第三个方加测:
总硅从280mg/L下降0.05mg/L
硼含量的从8μg/L下降0.3μg/L
软件收购 率从原40%完善至68%
膜变更期延长时间至5年,年运营成本预算缩减35%